Perahu penyejatan dalam pembuatan peranti elektronik: Pembawa utama untuk lapisan ketepatan

Bot penyejatan dalam industri pembuatan peranti elektronik digunakan terutamanya dalam cip semikonduktor, paparan panel rata, komponen elektronik dan proses pembuatan lain, seperti berikut:
Pembuatan cip semikonduktor
Pembentukan lapisan interkoneksi logam: Cip perlu membina garis konduktif logam kompleks untuk menyambungkan transistor dan modul berfungsi. Bot penyejatan biasanya digunakan untuk menguap bahan logam seperti aluminium dan tembaga. Dalam persekitaran vakum, bahan logam dipanaskan ke penyejatan suhu tinggi di dalam bot penyejatan, dan kemudian disimpan di permukaan wafer untuk membentuk corak interkoneksi logam yang tepat melalui fotolitografi, etsa, dan proses lain untuk merealisasikan penularan isyarat elektrik di dalam cip.
Penyediaan lapisan penghalang dan penyebaran: Untuk mencegah ion logam dari meresap dalam struktur cip dan mempengaruhi prestasi cip, lapisan penghalang perlu disediakan di antara lapisan logam dan lapisan semikonduktor. Bot penyejatan boleh digunakan untuk menguap bahan seperti titanium nitride (TIN) sebagai lapisan penghalang. Di samping itu, dalam beberapa proses, ia juga perlu untuk menguap atom-atom kekotoran seperti boron dan fosforus melalui bot penyejatan untuk membentuk lapisan penyebaran, untuk mengawal sifat-sifat elektrik secara tepat peranti semikonduktor, seperti pembentukan rantau semikonduktor P-jenis atau N-jenis.
Pembuatan paparan panel rata
Penyediaan elektrod konduktif telus: Untuk kedua -dua paparan kristal cecair (LCD) dan paparan diod pemancar cahaya organik (OLEDs), elektrod konduktif telus diperlukan untuk memacu piksel untuk memancarkan cahaya. Bot penyejatan boleh digunakan untuk menguap bahan konduktif telus seperti indium timah oksida (ITO), yang mempunyai kekonduksian dan ketelusan yang baik. ITO digunakan untuk membentuk filem ITO seragam pada substrat kaca melalui proses penyejatan, dan kemudian dipesan oleh fotolitografi dan proses lain sebagai elektrod untuk mengawal pemindahan caj dan luminescence piksel dalam paparan.
Lapisan Lapisan Lampu Organik: Dalam pembuatan paparan OLED, bot penyejatan adalah alat utama untuk mendepositkan bahan pemancar cahaya organik. Dengan tepat mengawal suhu dan kadar penyejatan bot penyejatan, bahan OLED disejat dan disimpan pada substrat untuk membentuk lapisan OLED ultra-tipis. Bahan pemancar cahaya organik yang berbeza boleh memancarkan warna cahaya yang berbeza, melalui gabungan lapisan pemancar cahaya organik pelbagai lapisan dan kawalan yang tepat, boleh mencapai resolusi tinggi, paparan OLED tepu warna yang tinggi.
Pembuatan komponen elektronik
Penyediaan perintang filem nipis: Perintang filem nipis biasanya digunakan komponen dalam litar elektronik dan direalisasikan dengan mendepositkan filem nipis dengan resistiviti tertentu pada substrat penebat. Bot penyejatan boleh digunakan untuk menguap bahan-bahan rintangan seperti aloi nikel-kromium (NICR) dan tantalum nitride (TAN). Dengan mengawal parameter proses penyejatan, ketebalan dan resistiviti filem dapat dikawal dengan tepat, dengan itu menyedari penyediaan perintang filem dengan nilai rintangan yang berbeza untuk memenuhi keperluan pelbagai litar elektronik.
Pembuatan kapasitor seramik multilayer (MLCC): MLCCs diperbuat daripada pelbagai lapisan dielektrik seramik dan elektrod logam yang ditumpuk secara bergantian. Bot penyejatan digunakan dalam pembuatan MLCC untuk menguap bahan elektrod dalaman seperti paladium (PD), perak (AG) dan logam lain. Semasa penyediaan lapisan dielektrik seramik, elektrod logam didepositkan pada permukaan lembaran seramik oleh proses penyejatan, dan kemudian struktur multilayer dibentuk oleh proses penyusunan dan sintering untuk mencapai ketumpatan kapasiti yang tinggi dan miniaturisasi kapasitor.
Dari kenalan logam telefon pintar ke filem AR yang telap, Boat Evaporation sebagai "wira di belakang tabir" pembuatan peranti elektronik, adalah melalui inovasi material dan peningkatan pintar, mempromosikan batas terobosan teknologi pemprosesan mikro-nano. Dengan kebangkitan semikonduktor generasi ketiga dan elektronik yang fleksibel, teknologi bot penyejatan akan terus berkembang dan menjadi hayat mewah yang sangat diperlukan dalam rantaian industri.

Shengyang New Material Co., Ltd. komited untuk pengeluaran produk boron nitride dan boron nitride, dan boleh menyesuaikan pelbagai bahagian seramik penebat nitrida boron mengikut keperluan pelanggan. Hubungi kami jika perlu.
Tel: +8618560961205
E -mel: sales@zbsyxc.com