SILIKON KARBIDA CANTILIVE SLURY
Kawasan Aplikasi: Dalam relau resapan dan relau resapan pengoksidaan suhu tinggi yang digunakan dalam industri pembuatan semikonduktor untuk melaksanakan pertumbuhan haba dan pengoksidaan wafer silikon, dayung julur ialah komponen utama sistem pemuatan wafer untuk memastikan keseragaman tiub wafer dan relau untuk lebih resapan seragam dan pengoksidaan. Pendayung julur silikon karbida dicirikan oleh kekuatan tinggi, ketulenan tinggi, kekonduksian haba yang tinggi, tiada keliangan, rintangan kepada kakisan asid dan alkali, tiada pencemaran pada suhu tinggi, kestabilan kejutan haba yang baik, dan kapasiti pemuatan yang tinggi. Digabungkan dengan pekali pengembangan terma yang serupa dengan salutan LPCVD, penggunaan dayung julur silikon karbida dalam LPCVD boleh memanjangkan kitaran pembersihan penyelenggaraan dan mengurangkan pencemaran dengan ketara.
Description/kawalan
Salah satu kelebihan utama buburan suspensi silikon karbida ialah keupayaannya untuk memberikan hasil yang konsisten dan seragam. Buburan mampu memberikan kemasan yang licin dan kualiti permukaan yang sangat baik, memastikan bahagian yang dimesin bebas daripada calar, retak atau kecacatan lain.
Satu lagi faedah buburan suspensi silikon karbida ialah ia mesra alam. Buburan tidak mengandungi sebarang sebatian berbahaya atau bahan kimia toksik, yang menjadikannya selamat untuk digunakan dan dilupuskan.
Tambahan pula, buburan suspensi silikon karbida adalah sangat kos efektif kerana ia mengurangkan pembaziran bahan dan masa pemprosesan dengan ketara. Buburan itu mampu mengeluarkan bahan pada kadar yang lebih cepat daripada teknik pengisaran dan penggilapan tradisional, sekali gus meningkatkan kecekapan proses pembuatan.
