Substrat Seramik Nitrida

(1) Substrat seramik silikon nitrida

Seramik dengan silikon nitrida sebagai komponen utama disebut seramik silikon nitrida, dan terdapat dua bentuk seramik silikon nitrida. Di samping itu, silikon nitrida juga mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah, ketahanan yang sangat baik terhadap peleburan sejuk dan panas, dapat menahan pelbagai asid anorganik dan larutan alkali selain daripada asid hidrofluorik, dan juga dapat menahan timbal lebur, timah, nikel, keluli kuning, aluminium dan logam bukan ferus yang lain Korosi logam dan aloi dan tidak melekat pada logam lebur ini.

(2) Substrat seramik Boron nitrida

Seramik dengan boron nitrida sebagai komponen utama disebut seramik boron klorida. Boron nitrida adalah sebatian ikatan kovalen, matriks seramik karbida seramik karbida matriks seramik karbida seramik karbida matriks seramik karbida dengan silikon karbida sebagai komponen utama disebut seramik karbida silikon. Silikon karbida adalah bahan yang sangat keras dan tahan lelasan. Silikon karbida yang dihasilkan dengan menekan panas digunakan sebagai alat untuk memotong berlian. Silikon karbida juga mempunyai ketahanan kakisan dan ketahanan pengoksidaan yang sangat baik

(3) Matriks seramik Boron karbida

Seramik dengan boron karbida sebagai komponen utama disebut seramik boron karbida. Boron karbida adalah keramik berketumpatan rendah, lebur tinggi, dan keras. Serbuk Boron karbida dapat dibentuk menjadi bahan yang padat melalui teknik penyediaan seperti sintering tanpa tekanan dan penekanan panas.